用于化学汽相淀积的有机金属化合物及其制造方法,贵金属膜及贵金属化合物膜的化学汽相淀积法

摘要

第一种有机金属化合物是用于通过化学汽相淀积法制造钌膜或钌化合物膜的有机金属化合物,它是有一个正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基取代基的烷基环戊二烯基(环戊二烯基)钌。第二种有机金属化合物是用于通过化学汽相淀积法制造铱膜或铱氧化物膜的有机金属化合物,用于化学汽相淀积的有机金属化合物是有任何一个正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基取代基的烷基环戊二烯基(1,5－环辛二烯)铱。