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第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会

召开年：1997
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1.高温合金电子束焊接性分析
- 马翔生
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 混合曝光;
2.SIMOX材料结构,电特性及杂质分析
- 罗晏
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- He'+;
3.自组装抗蚀层
- 顾宁
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 粉尘;
4.紫外直接写入光纤光栅的制作及其温度和应力特性的研究
- 任泽英
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 金属腐蚀;
5.在1.2u大规模集成电路生产中用扫描电镜诊断双层金属布线缺陷
- 曾庆光
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 高温合金;
6.使用紫外脉冲激光源外延生长氧化物薄膜
- 连贵君
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 光纤光栅;
7.用微电子工艺技术制作微光学元件
- 张锦
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 硅光电探测器;
8.复合结构X射线光刻掩模薄膜衬基的制备
- 赵玲利
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X射线光刻掩模;
9.双面光刻方法的比较
- 龚里
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 纳米测长仪;
10.衰减移相掩模技术
- 陈福山
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 薄膜沉积;
11.集成光电转换器的可靠性和寿命研究
- 李远镜
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电化学腐蚀;
12.用LIGA技术和牺牲层技术研制微镊子的实验研究
- 吴沭新
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- LIGA技术;
13.a-SiC:H薄膜的准分子激光晶化
- 王立
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 光敏聚酰亚胺;
14.光敏聚酰亚胺胶的应用
- 韩阶平
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 移相掩模;
15.移相掩模光刻技术
- 陈宝钦
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 准分子激光;
16.KrF准分子激光移相光刻在HEMT栅加工中的应用及移相器方式的选择
- 钱鹤
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 干法显影;
17.电子束曝光机中的微电流检测技术
- 方光荣
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 阴极材料;
18.ISI-2802激光直写系统的性能及使用
- 侯德胜
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X射线光刻;
19.X射线光刻技术的发展
- 姚汉民
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 化学辅助离子束;
20.Ge在SF<,6>+N<,2>中的反应离子刻蚀研究
- 程美乔
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子刻蚀;
21.X-ray光刻的研究(摘要)
- 白丁
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 教学改革;
22.低维半导体材料及器件探索的研究进展(摘要)
- 王占国
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 集成电路;
23.电子束曝光技术及发展概况
- 顾文琪
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 低维半导体材料;
24.强流离子束形成硅化钴薄膜结构特性及应用研究
- 张为炳
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 超薄层单晶;
25.电子束光刻机用背散射电子检测技术
- 李士章
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光;
26.场正交图形簇畸变的非线性校正
- 姚作宾
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 大规模集成电路;
27.电子束曝光的计算机模拟
- 宋立国
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束抗蚀剂;
28.纳米图形的制作
- 唐剑
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束直写;
29.用电子束直接光刻制造GHz声表面波器件
- 梁俊厚
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光;
30.电子束曝光系统中的数据传送
- 曹志峰
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光机;
31.电子束曝光机的自动装片装置
- 薛虹
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光机;
32.离子束反应溅射低温原位生长金属氧化物薄膜
- 康晋锋
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子束辅助沉积;
33.与硅电子集成技术匹配的p-/p+型多孔硅的光谱学研究
- 韩汝琦
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 铁钴共蒸发;
34.电子回旋共振化学汽相淀积介质薄膜
- 赵玲娟
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 纳米硅薄膜;
35.扩展电阻探针技术(SRP)在半导体材料、器件微结构分析中的应用
- 杨丽卿
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 微电子工艺;
36.用IBAD技术制备的TiO<,2>薄膜的结构分析研究
- 刘铎
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子束反应溅射;
37.TiH<,x>中H的扩散行为研究
- 魏澎
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 三元合金;
38.用RBS/channeling技术研究异质外延GaN及其三元合金薄膜的结构
- 姚淑德
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 金属氮化物薄膜;
39.一种高灵敏分析<'14>N的新方法
- 徐会忠
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 氟迁移特性;
40.用EB/UV混合曝光研制具有深亚微米栅长的HEMT
- 梁俊厚
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束光刻;
41.整体软X光平行束透镜及其在X射线光刻中的应用
- 王大椿
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 光学光刻;
42.纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究
- 叶甜春
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 激光直写系统;
43.同步辐射X射线移相光刻技术
- 谢常青
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X射线光刻;
44.同步辐射X射线光刻本征分辨率研究
- 谢常青
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 同步辐射;
45.金红石型氧化钛薄膜的离子束增强沉积合成及其血液相容性的研究
- 张峰
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 结构分析;
46.向千兆位拓进的光学光刻技术
- 童志义
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 光刻曝光系统;
47.固相外延CoSi<,2>薄膜在BHF溶液中的腐蚀特性
- 屈新萍
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 强流离子束;
48.离子束溅射淀积多层薄膜及CoSi<,2>/Si异质固相外延
- 屈新萍
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子束溅射淀积;
49.对IBE技术生长的β-FeSi<,2>薄膜的HRTEM初步研究
- 张建辉
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子束溅射淀积;
50.离子束辅助沉积类金刚石薄膜的光学性能
- 朱宏
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 金属硅化物薄膜;
51.电化学腐蚀的多晶W针尖多突出结构证据
- 田如江
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 硅电子集成;
52.一种纳米尺寸X射线光刻掩模图形制作新方法
- 孙宝银
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 同步辐射;
53.离子注入红霉素产生菌诱变育种的研究
- 陈宇
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入硼;
54.硅中H<'+>、He<'+>注入引起的纳米孔层及其应用
- 林成鲁
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 聚焦离子束;
55.CoSi<,2>超薄层单晶的表面研究
- 姚振钰
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入;
56.聚酰亚胺薄膜的高能离子束注入改性和分析研究
- 张超
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 等离子浸没;
57.温度梯度下的离子注入吸杂
- 王兴民
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 聚酰亚胺薄膜;
58.全机械扫描靶室中的高速旋转轴密封
- 李时俊
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 强流离子注入机;
59.高灵敏度的紫外硅光电探测器
- 李秀琼
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 集成光电转换器;
60.新型超高真空化学气相外延设备的研制
- 金晓军
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 介质薄膜;
61.纳米硅薄膜的微结构与应用研究
- 林鸿溢
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 照明系统;
62.铬版的表面改性反转技术
- 韩安云
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 加速度传感器;
63.纳米测长仪在定位及测量中的应用
- 邹自强
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 抗蚀层;
64.在电子回旋共振等离子体中栅极引出束的等离子体特征
- 姚鑫兹
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 刻蚀技术;
65.砷的粉尘及砷烷的治理
- 闻瑞梅
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 扩展电阻探针;
66.亚半微米微细图形光刻新技术
- 罗先刚
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X-ray光刻;
67.室温脉冲激光沉积Bi<,4>Ti<,3>O<,12>铁电薄膜的研究
- 曾建明
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 紫外脉冲激光源;
68.利用LIGA技术制造电磁式微型步进电机
- 伊福廷
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 准分子激光;
69.纳米硅薄膜PECVD生长的计算机模拟
- 宋春云
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 纳米硅薄膜;
70.准分子激光诱导晶化纳米硅的结构和形成机理
- 高翔
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 准分子激光;
71.大剂量He<'+>注入单晶硅空位型缺陷退火行为的慢正电子研究
- 张苗
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入隔离;
72.PSPI-H的X-ray光刻和紫外光刻对比研究工作
- 魏珂
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 衰减移相掩模;
73.加速度传感器的研制
- 田扬超
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- LIGA技术;
74.干法显影中的光刻胶表面热处理技术研究
- 叶甜春
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X射线光刻掩模;
75.离子注入机安装调试中的关键技术
- 金才政
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 全机械扫描靶室;
76.电子束直写园片技术
- 彭力
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 数据传输;
77.SIMOX材料的SIMS分析
- 马农农
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电特性;
78.强流离子注入机剂量控制研究
- 陈林
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 非线性校正;
79.四极照明系统的设计
- 罗先刚
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 微细图形;
80.一种新颖的挂镓工艺
- 袁仲远
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入机;
81.用于聚焦离子束的新一代图形产生和自动套准系统
- 张恝恕
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 挂镓工艺;
82.6H-SiC的O<'+>离子注入隔离的初步研究
- 黄继颇
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 硅;
83.离子注入硼多晶电阻在集成电路上的应用
- 陈康民
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入;
84.等离子体浸没离子注入离子合成SIMOX
- 闵靖
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 注氧隔离;
85.离子注入Si中掺杂激活率的提高
- 卢武星
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 温度梯度下;
86.离子注入掺铒富硅氧化硅薄膜的室温光致发光
- 雷红兵
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入;
87.Si<'+>、N<'+>共注入SiO<,2>薄膜的光致发光
- 赵俊
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子注入;
88.深紫外光刻技术的发展
- 冯伯儒
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X射线光刻;
89.六方GaN的化学辅助离子束刻蚀研究
- 祝亚芹
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 反应离子刻蚀;
90.HBr反应离子刻蚀微米硅深槽
- 刘家璐
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 离子刻蚀;
91.激光与波前工程使光学光刻的分辨率达到0.1μm
- 路敦武
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 光刻机;
92.电子束曝光机扫描场调整和测量
- 张福安
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光机;
93.我国集成电路和半导体设备产业的现状和发展(摘要)
- 俞忠钰
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- X-ray光刻;
94.干法刻蚀研究(摘要)
- 刘金声
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 微电子器件;
95.O<'+>注入在光电器件中的应用
- 石志文
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- SiO,2薄膜;
96.用国产电子束抗蚀剂制作0.35μm分辨率铬掩模
- 江泽流
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光;
97.微米级电子束曝光机实用化
- 刘祖京
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光;
98.SDS-2型电子束机图形、定位数据的传输
- 张玉林
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光机;
99.LaB<,6>阴极在变形电子束曝光机中的使用
- 杨中山
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束曝光机;
100.电子束曝光机偏放噪声对图形分辨率的影响
- 张明
- 《第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会》 | 1997年
- 电子束光刻机;