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金春水; 张立超;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;
中国科学院研究生院,北京,100039;
极紫外; 多层膜; 衍射光栅;
机译:软X射线范围内的多层衍射光栅的膨胀:生长设计考虑了沟槽型材的变形
机译:宽带多层衍射光栅的研制及柔软X射线部门的应用
机译:平面多层振幅衍射光栅在软X射线范围内的光谱特性
机译:2至4 keV区域高衍射效率高分辨率软X射线层型多层膜衍射光栅设计
机译:磁性多层膜的超快动力学:极紫外和软X射线光谱区域中的磁光光谱和共振散射
机译:在红外下工作的多层多孔硅衍射光栅
机译:极紫外和软X射线多层镜的研制与计量
机译:极紫外荧光粉中多层涂层凹面衍射光栅的表征。
机译:使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译:极紫外光或软X射线范围的短波长光源装置,以及产生极紫外光或软X射线范围的短波长光源的方法
机译:多层反射镜,极紫外(EUV)曝光系统和软X射线光学设备
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