用于软X射线-极紫外多层膜元件反射率测量的转动机构

摘要

用于软X射线-极紫外多层膜元件反射率测量的转动机构，属于空间光学技术领域，为解决现有技术存在的问题，该机构样品架主动齿轮支承轴、从动齿轮支承轴和探测器主动齿轮支承轴固定在真空室内；探测器齿轮驱动杆通过连接架与探测器主动齿轮连接；探测器主动齿轮与探测器主动齿轮支承轴连接；探测器从动齿轮与从动齿轮支承轴上半部分连接与探测器主动齿轮啮合；光电转换探测器固在探测器从动齿轮上；样品架齿轮驱动杆通过连接架与样品架主动齿轮连接；样品架主动齿轮与样品架主动齿轮支承轴连接与样品架从动齿轮啮合；样品架从动齿轮与从动齿轮支承轴下半部分连接；光学元件样品架固定在样品架从动齿轮上；入光口连接法兰设置在真空室一端。