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第1章 绪论
1.1引言
1.2极紫外与软X射线多层膜偏振光学元件的发展
1.3论文主要研究内容
第2章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件设计
2.1引言
2.1.1多层膜光学元件的设计理论
2.1.2薄膜光学理论递推公式
2.2优化算法的选择
2.3材料的选择
2.4反射式单波长多层膜偏振元件设计
2.4.1反射式单波长多层膜起偏器的角度选择
2.4.2反射式单波长多层膜起偏器的膜层数选择
2.4.3非准布儒斯特角工作多层膜起偏器的评价函数选择
2.5反射式多层膜宽带偏振元件的设计
2.5.1起偏角度的选择
2.5.2宽带偏振元件的设计结果
2.6透射式偏振元件设计
2.6.1透射式多层膜起偏器设计参数的选择
2.6.2粗糙度对透射式偏振元件性能的影响
2.6.3单波长偏振元件周期设计和非周期设计的异同
2.7本章小结
第3章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件制备与结构表征
3.1引言
3.2多层膜偏振元件的制备
3.2.1磁控溅射原理
3.2.2高真空磁控溅射设备简介
3.2.3多层膜偏振元件制备工艺
3.3多层膜偏振元件的结构表征
3.3.1 X射线衍射仪简介
3.3.2速率标定
3.3.3周期和非周期结构多层膜的结构表征
3.4本章小节
第4章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件性能检测与结果分析
4.1引言
4.2偏振测量装置光路校准
4.2.1北京同步辐射装置的偏振测量仪器介绍
4.2.2光路校准
4.3偏振元件反射率测试
4.3.1合肥同步辐射实验室光谱辐射标准与计量光束线介绍
4.3.2宽带偏振元件带宽的测试
4.4偏振性能测试
4.4.1 BESSY Ⅱ及ELETTRA偏振测量装置的介绍
4.4.2多层膜偏振元件性能测试结果
4.5超宽带测试结果的分析
4.6本章小节
第5章 全文总结
5.1主要研究成果
5.2论文主要创新点
5.3进一步工作展望
致谢
参考文献
个人简历、在读期间发表的学术论文与研究成果