広帯域多層膜回折格子の開発とテンダ一X線分光ヘの応用

摘要

X線発光分光法は物質の電子状態の研究に有効な計測手法の一っである.近年,特に注目されているのが,「テンダ一X線」と呼ばれるエネルギ一領域(概ね1~4keV)の分光技術である.従前,回折格子は2keV以下の利用に限定されていたが,反射膜を非周期多層膜にした多層膜回折格子を用いることでテンダ一X線でも幅広いエネルギ一帯域に渡って高効率に分光計測できるょうになった.本稿では,広带域多層膜回折格子を搭載した平面結像型分光器の開発とその応用にっいて概説する.