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王占山; 吴永刚; 陈玲燕;
同济大学玻耳固体物理研究所;
极紫外; 软X射线; 多层膜; 光学; 反射率; 透过率; 同步辐射; 干涉实验;
机译:精密成像多层光学器件,用于软X射线和极紫外波段
机译:适用于软X射线和极紫外光的精密成像多层光学器件
机译:多层涂层的性能与金属层的微观结构有关。 Mo / Si多层膜在极紫外和X射线范围内的表征和光学性质
机译:在软X射线和EUV范围内用作相延迟器和光谱纯度滤光片的独立多层膜 r n t r n r n在软x射线中用作相延迟器和光谱纯度滤光片的独立多层膜-射线和
机译:磁性多层膜的超快动力学:极紫外和软X射线光谱区域中的磁光光谱和共振散射
机译:注射纳米成型和多层膜的光学性能可快速复制和轻松调制亚波长抗反射聚合物膜
机译:用于软X射线和极紫外光学的B / Si多层
机译:基于铍的多层膜用于垂直入射的极紫外反射
机译:使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译:多层反射镜,极紫外(EUV)曝光系统和软X射线光学设备
机译:用于反射光学元件,特别是用于软X射线和极紫外波长范围的清洁方法以及用于极紫外光刻设备的清洁方法包括加热反射光学元件
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