机译:软X射线范围内的多层衍射光栅的膨胀:生长设计考虑了沟槽型材的变形
ITMO University;
Academic University;
multilayer diffraction grating; blazed grating; soft X-ray radiation; short-wave reflectometry; diffraction efficiency; rigorous method of electromagnetic diffraction theory; method of boundary integral equations; simulation of thin film growth; nonlinear continuum equation; magnetron and ion-beam sputtering;
机译:软X射线范围内的多层衍射光栅的膨胀:生长设计考虑了沟槽型材的变形
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