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张波; 邵汉良; 王良;
常州机电职业技术学院,江苏常州213164;
常州中科常泰等离子体技术有限公司,江苏常州213032;
上海交通大学,上海200240;
氧化铟锡; 薄膜; 磁控溅射; 锆; 掺杂; 稳定性; 耐蚀性;
机译:再生靶沉积铟锡氧化铟锡薄膜的透明电极性能研究
机译:磁控溅射冷靶上金属靶沉积透明氧化铟锡电极
机译:直流磁控溅射法研究不同导电ITO靶沉积的氧化铟锡薄膜
机译:三元尖晶石锡酸镉,铟镉和锡酸锌以及二元氧化锡和氧化铟透明导电氧化物作为硫化镉/碲化镉光伏器件的前接触材料。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:双靶磁控溅射制备氧化铟锡薄膜的性能
机译:氧化铟锡的缺陷结构及其与导电性的关系
机译:氧化铟锡靶,制造相同方法的透明氧化铟锡薄膜和制造透明导电薄膜的方法
机译:透明导电性薄膜用靶由含有钨的氧化铟烧结体构成,该钨的特征在于,透明导电性薄膜用靶,透明导电性
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