一种非接触式高精密晶片面型测量仪器及其测量计算方法

摘要

本发明提出的一种非接触式高精密晶片面型测量仪器及其测量计算方法，测量仪器包括台面、移动载台、滑动导轨和激光测距感测器，被测晶片放置在移动载台，通过滑动导轨实现左右前后的移动，激光测距感测器测量与被测晶片上下端面的距离，并通过科学的测量计算方法，得出面型测量相关数据，本发明的特点在于，能够做到高精度数据测量，得到的数据十分精确，能够精确到0.01um，各结论数据误差极小，同时本发明有效的将厚度测量和面型测量相结合，通过网状采集点的方式，进行测量和数据分析；打破了传统的单线和单点的测量方式，降低了测量误差，从而提高了数据的真实性。