光刻掩模缺陷对IC成品率的影响

摘要

本文叙述了光刻掩摸的缺陷对ＩＣ成品率的影响，着重介绍了缺陷产生的原因及消除的方法，并对国内外光刻掩模生产现状作简要介绍。