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动态混合注入与沉积法制备TiN膜层

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摘要

采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层.用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌.对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著.

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来源
《航空制造技术》 |2005年第3期|88-91|共4页
作者
张华芳; 武洪臣; 蒋艳莉; 马国佳; 彭丽平;
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作者单位

北京航空制造工程研究所;

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正文语种 chi
中图分类润滑系统;
关键词
动态混合离子注入沉积 TiN膜纳米划痕结合性能;

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