极紫外与软X射线多层膜技术

摘要

首先介绍了极紫外与软x射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展.然后,介绍了作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面所做的研究,及相应的实验结果。