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王占山; 朱京涛; 张众; 王风丽; 王洪昌; 程鑫彬; 陈玲燕;
哈尔滨工业大学;
极紫外; 软x射线; 多层膜; 溅射镀膜; 超反射镜;
机译:精密成像多层光学器件,用于软X射线和极紫外波段
机译:适用于软X射线和极紫外光的精密成像多层光学器件
机译:极紫外和软X射线光谱区域的多层薄膜滤光片
机译:研究极紫外和软X射线区域多层反射镜的实验室方法
机译:磁性多层膜的超快动力学:极紫外和软X射线光谱区域中的磁光光谱和共振散射
机译:低温软X射线断层扫描:使用软X射线探索全细胞的超微结构
机译:极紫外和软X射线多层镜的研制与计量
机译:软X射线分束器和高色散多层反射镜用作软X射线激光腔组件
机译:极紫外光或软X射线范围的短波长光源装置,以及产生极紫外光或软X射线范围的短波长光源的方法
机译:多层反射镜,极紫外(EUV)曝光系统和软X射线光学设备
机译:使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
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