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张慧强; 斯永敏;
中国真空学会;
中国电子学会;
中国光学学会;
中国物理学会;
中国机械工程学会;
中国材料研究学会;
中国仪器仪表学会;
机译:烧结制备的掺杂镓的氧化锌靶材:靶材质量对溅射薄膜性能的影响
机译:使用V_2O_5靶材通过磁控溅射原位退火制备的高质量热致变色VO_2薄膜
机译:通过射频磁控溅射使用单一靶材进行无硒化制备的Cu(In,Ga)Se2薄膜的表征
机译:使用金属SbTe靶材通过反应溅射制备的具有Sb2TeOx栅极绝缘体的In-Ga-Zn-氧化物薄膜晶体管
机译:通过溅射磁控管直流来生长和表征氧化钒,氧化钒(6)(13)和二氧化钒的薄膜。
机译:使用碳纳米管/聚四氟乙烯复合聚合物靶材通过中频溅射制备的氟碳薄膜
机译:在磁控溅射薄膜沉积中使用的靶材生产中,黄铜冶炼粉尘作为ZnO的来源
机译:离子束溅射沉积高(Tc)超导薄膜的离子散射和溅射工艺研究:沉积参数的优化。
机译:高纯度钴铁合金溅射靶材,使用相同溅射靶材沉积的磁性薄膜和制备相同高纯度钴铁合金溅射靶材的方法
机译:用于形成磁性薄膜的镍铁合金溅射靶材,用于制造磁性薄膜的镍铁合金溅射靶材和用于形成磁性薄膜的镍铁合金溅射靶材
机译:电阻材料,形成电阻薄膜的溅射靶材,电阻薄膜和薄膜电阻器以及形成电阻薄膜的溅射靶材的制造方法和电阻薄膜的制造方法
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