Printed Devices Research Team, Electronics and Telecommunications Research Institute, Daejeon 305-350, Korea;
Sb2TcOχ; Reactive sputtering; Oxide semiconductor; IGZO; Thin-film transistor;
机译:In-Ga-Zn-氧化物薄膜晶体管与Sb(2)TeO(x)栅极绝缘体的反应溅射,使用金属Sb(2)Te靶进行溅射
机译:使用金属锌靶通过反应溅射制造的具有氧化锌半导体的透明薄膜晶体管
机译:通过金属锌靶的反应溅射制备自对准顶栅氧化锌薄膜晶体管
机译:具有通过金属SBTE靶通过反应溅射制造的具有Sb2teoχ栅极绝缘体的Ga-Zn氧化物薄膜晶体管
机译:使用溅射沉积氧化锌制造的薄膜晶体管。
机译:低功率界面氧化栅极绝缘子氧化物薄膜晶体管
机译:界面电介质层对顶栅in-Zn氧化物薄膜晶体管电性能的影响
机译:由自对准工艺制造的辐射强化硅绝缘体结场效应晶体管