沉积层

摘要： 准确的沉积层结构,对盆地地区油气资源调查与勘探、地震动场地效应评估和壳幔深部结构成像等研究均具有重要意义.近二十年来,随着地震观测技术的进步和大量流动台阵数据的积累,利用被动源资料探测沉积层结构的地震学方法研究取得了长足的发展.本文对这些主要方法进行了归纳总结,阐述了基本原理及相关进展.其中,基于远震体波数据的研究方法主要有:接收函数和转换函数、波场反延拓的H-β方法、以及P波质点运动分析等.基于近场体波资料约束沉积层结构通常采用的是高频波形拟合方法.此外,还简要介绍了谱比法、背景噪声面波成像和Rayleigh波Z/H幅度比,以及多种方法的联合反演.最后,对我国东部典型盆地地区,如松辽盆地和华北盆地下方沉积层结构已取得的研究进展进行了总结.

摘要： 目的 为了解决选区激光熔化增材再制造时出现的首层铺粉粉层厚度不均的问题,研究首层粉层厚度为400μm时选区激光熔化成形工艺。方法 采用倾斜基板预置楔形粉层,在粉层上进行不同激光功率的激光扫描实验,研究楔形粉层对沉积的影响规律。然后在水平放置的基板上分别预置50、100、200、300、400μm厚度粉层,在粉层上进行激光扫描实验,研究粉层厚度对沉积的影响规律。最后做首层400μm层厚,后续5层每层50μm的多层沉积实验,研究厚粉层对后续SLM成形的影响规律。结果 在倾斜上表面采用选区激光熔化技术进行修复,铺粉厚度的增加会导致沉积层致密度变差且表面起伏增大。通过提高激光能量密度的方式,采用300 W、800 mm/s的工艺参数在400μm大层厚下激光扫描,可改善沉积层与基板的结合情况并减小沉积层上表面的起伏轮廓,同时该参数也能在小层厚时得到致密的沉积层。在首层400μm层厚的基础上进行SLM成形时,需用首层沉积的工艺沉积5层作为过渡区,后续可按正常的SLM成形工艺进行沉积。结论 用SLM技术进行零件修复时,虽然首层会出现厚度不均的楔形粉层。当粉层最厚区域不超过400μm时,需提高激光功率密度进行沉积。在高功率密度参数下沉积5层后可以采用正常SLM工艺进行后续成形。

摘要： 冷喷涂沉积层中的孔隙率反映了喷涂颗粒的变形程度及它们之间的结合程度,对沉积层的硬度、弹性模量、摩擦磨损性能、耐腐蚀性能和疲劳性能等均有一定影响。沉积层孔隙率对评价沉积层综合性能、优化冷喷涂工艺等均有着重要的意义,是衡量沉积层质量的重要指标之一。目前已有多篇文章系统介绍了冷喷涂工艺对沉积层性能的影响,但鲜有关于冷喷涂沉积层中孔隙及其控制措施的综述性报道。为此,在参阅了大量文献的基础上,系统阐述了冷喷涂沉积层中孔隙的形成及其检测方法和影响因素,并总结了孔隙率对沉积层性能的影响及降低沉积层孔隙率的措施。

摘要： 为消除阴极和阳极形状和尺寸参数对沉积层内应力的影响,本文以铜薄片为阴极、镍板为阳极进行了响应曲面设计试验。采用Minitab进行试验设计与分析得到镍电铸基本工艺参数:电流密度、氨基磺酸镍浓度、电铸液温度与内应力的回归方程。基于响应面建立的模型进行优化求解,并通过试验验证,得到了一组低内应力的试验参数组合。

摘要： 木材纹理通常用于装饰人造板材的表面。本研究提出了一种利用图像分层模型驱动紫外线固化喷墨打印木材纹理的处理方法,优化与简化装饰打印数字木料的创建,以实现工业应用中快速构建木纹打印的数字模型,在人造板基材表面打印出符合应用标准的仿真3D触觉装饰木材纹理。在本研究中,通过图像处理将普通纹理图像转换为多通道图像,专色通道驱动油墨密度100%、体积300%的白色墨滴以3层墨滴叠加的形式沉积在基材上形成白色3D实体纹理形状,色彩通道驱动映射在白色浮雕纹理表面的彩色图案打印;在打印面上进行粗糙度、LAB值、光泽度、附着力、硬度的性能测试,表征利用图像模型方法喷墨沉积木纹的立体形态与沉积表层物理性能。研究结果表明,在模拟的3D模型切片打印木纹模型驱动下,白墨浮雕纹理与色彩纹理点对点像素对应沉积形成了立体木材纹理;打印的装饰木纹层其粗糙度轮廓表征油墨沉积高度为300μm、LAB值差值为-5~5,光泽度10~18(85°入射角),附着力2级,硬度4H,符合一般装饰板材表面的漆膜应用标准。

摘要： 对电磁发射实验后的CuCrZr合金轨道进行拆解,结合扫描电镜、X射线能谱、X射线衍射、X射线光电子能谱及电子背散射衍射等,对轨道表面沿发射方向4个区域的表面沉积层特征和磨损机理进行研究。结果表明,大部分轨道表面被沉积层覆盖,沉积层的厚度沿发射方向由薄变厚再变薄,最厚处的厚度达65μm,沉积层的主要成分为Cu、Al、Al_(2)O_(3)和Al_(4)Cu_(9)等。轨道表面出现剥落、犁沟与流水状组织,呈现附着磨屑、孔洞、塞积和胞状枝晶等典型特征,表现出机械和电气磨损的混合状态。不同区域的沉积层特征差别明显,包括厚度、孔洞尺寸及数量、沉积层内部的微观结构,以及裂纹和表面形貌等。沉积层和轨道之间的界面发生扩散行为,形成扩散界面。沉积层的晶粒取向垂直于轨道表面。

摘要： 针对天然气输送管道内含水合物液膜的厚度测量问题,基于电-声联合探测方法原理设计了集成同轴圆盘-双环电极和超声晶片的内嵌凹面式电-声复合传感器,建立了数值仿真模型对传感器的结构和工作参数进行了优化,并分别对含有离散分布水合物颗粒和水合物沉积层液膜的厚度进行了仿真测量,讨论了电阻法和超声渡越时间法的适用性;研究结果表明:同轴圆盘-双环电极中的圆盘电极的半径、圆盘电极/内环电极的间距是影响电学测试空间灵敏度的主要结构参数,超声波频率对声学测试空间灵敏度产生显著影响,因此需要对凹面式电-声复合传感器的参数进行优化设计;电阻法和超声渡越时间法分别适用于测量水合物以离散颗粒形态分布和以沉积层形态分布的液膜,两类方法优势互补显著,拓宽了电-声复合传感器的适用范围.

摘要： 利用旋转电极电火花沉积装置,在Q235钢表面逐层沉积1至6层铜合金涂层,计算分析了每层沉积厚度、过渡形态、表面和截面形貌,探讨了电火花沉积电极材料的过渡机制、形态和规律.结果表明:工件和电极的质量变化曲线相似,随着沉积层数的增加,质量变化量减少直至趋于稳定;沉积层以熔融物质团(液态、半固态)的形态过渡沉积生成,电极与工件材料在沉积层与基体界面处互相渗透,生成厚约20～30μm的过渡层;工件材料对沉积层的稀释作用主要发生在过渡物质团结合处,对其内部影响极小,且随着沉积层数的增加而减小,沉积层由多层电极材料覆盖叠压构成;随着沉积层数的增大,放电能量利用率降低,单次沉积厚度降低,电极对沉积表面的磨削涂覆作用增大,电极材料沉积率有所下降.

摘要： 蒂卡尔是玛雅一座建在多孔石灰岩上的城市,干旱的气候使这里的人们很难获得天然的饮用水。因此,收集和储存清洁水对当地人的生存至关重要。研究人员发现:在蒂卡尔当地,沸石(一种铝硅酸盐矿物)这种物质只在柯里昂水库的沉积层中才存在.

摘要： 开篇"亲爱的观众朋友们,您好,欢迎您来到‘非非地质研究室’小型陈列厅参观。地质遗址是地球46亿年来演化过程的遗存,是地球在内外动力共同作用下发展、形成并且保存下来的珍贵的、不可再生的地址自然遗产。‘非非地质研究室项目’成立于2011年。作为一个私立地质研究项目,致力于通过与德国不莱梅大学海洋地质研究小组的合作,共同保护、研究中德地质勘探成果。

摘要： 利用孔隙水化学和稳定同位素化学等方法分析珠江口红树林湿地沉积层孔隙水硫酸根和δ13C-DIC的垂直剖面分布特征.结果显示,KC1、KC3、KC4、K17和K10等5个站位硫酸盐—甲烷界面(SMI)分别为20cm、50cm、70cm、50cm和80cm,孔隙水总二氧化碳浓度在SMI处明显升高,沉积物发生强烈的甲烷厌氧氧化作用(AOM).在AOM过程中,由于12CH4氧化速率较13CH4快,故引起沉积物孔隙水剩余甲烷的碳同位素偏重,而δ13C-DIC值变为负偏.研究表明,沉积层中高含量的活性有机质可加速孔隙水硫酸根再矿化分过程的消耗,使得通过AOM作用的硫酸根消耗通量相应增大,其结果造成沉积物SMI的上移.在微生物作用下,部分活性有机质被大量消耗,致使进入沉积物硫酸根还原带的活性有机质数量相应减少,从而引起部分硫酸根转为与甲烷发生反应促进AOM作用.

摘要： 实际海洋环境中,沉积层中的声速一般随着深度进行变化的.本文考虑了沉积层中的纵波和横波的声速剖面都是n2线性的情况,此时,深度分离的波动方程的解就可以用Airy函数来解析表达.再利用传递矩阵以及边界条件可以计算出势函数的积分表达式,最后基于快速场理论得到势函数的近似表达式.本文方法避免了对连续分层介质进行一系列均匀子层的划分,而且快速场方法避免了简正波方法中求本征值的困难.仿真结果表明,本文方法计算结果与Krakenc程序结果除近距离外的中远距离吻合较好,在近距离处有偏差.

摘要： 沉积物持续流入港口和关键航道,因此,维护性的疏浚工程是必须的.为准确确定水下沉积层的清理时间和清理量,必须对淤泥层进行监测和分析.本文将介绍一种创新性的竖向剖面测量技术,在一个自由下落的轨道上对水下沉积层的深度、厚度、密度和强度进行测量.设备以自由落体的形式冲击水下沉积层,在冲击作用过程中对贯入阻力和压力进行测量.本技术可用于疏浚工程的多个方面,可与声波法等配合使用.软弱沉积物的另外一个重要的方面是适航性.若淤泥的力学参数在某一个阀值以下,船体则可以通过这些软弱淤泥层.现在很多港口用密度作为这些力学参数的代表.在过去密度可作为强度的代替指标.建议以密度可视化作为基本测量方法,对适航深度进行评价.

摘要： 本文使用接收函数研究塔里木盆地沉积层结构，指出(1)高频远震接收函数分析和反演是研究盆地沉积结构的有利工具。(2)研究得到塔里木盆地沉积层横波速度结构和结晶基底深度。盆地沉积层厚度变化较大，在0.5-14km之问，沉积构造与盆地内助陷和隆起的构造关系密切。(3)沉积层和断裂对接收函数波形影响十分明显，影响了Pms的时问和波形，要得到沉积盆地准确的MOHO面深度，必须充分分析沉积层的影响。

摘要： 海底的声学特性对浅海远程声传播有重要影响.本文介绍了一次浅海沉积层表层声场传播特性实验,对声传播损失在垂直方向上的变化特性进行了理论分析.结果表明,对于实验海区环境,在800-2000Hz频段,沉积层中声场垂直方向上的传播损失差随频率升高呈线性增大趋势.

摘要： 塔里木盆地及邻区S波速度结构存在着明显的垂向和横向的不均匀性。横向的不均匀性表现在盆地和造山带的差别，垂向上表现为上地壳和中下地壳的不同。在上地壳，塔里木和准噶尔盆地显示了低速的特征，而天山造山带显示了高速的特征，且塔里木盆地中巴楚隆起的速度高于满加尔凹陷。天山造山带广泛出露岩浆岩，而盆地区域多为中新生代沉积层，因此不同区域存在不同的岩性是造成不同构造单元速度高低差异的主要原因；在塔里木盆地西南巴楚隆起一带出露前寒武至奥陶纪的地层，导致巴楚隆起沉积层较薄，因而具有较高的速度。满加尔凹陷具有塔里木最厚的沉积层，因此速度最低值出现在满加尔凹陷。由于塔里木盆地的主体是位于十分古老的前寒武纪基底之上的古生代克拉通盆地，其内部构造具有相对稳定和高速的特点。准噶尔地块是一个刚性古老地块，所以中下地壳中盆地表现为高速区，而天山造山带则表现为低速区，这可能是造山带在隆升中引起了地幔物质上涌。塔里木块体和准噶尔块体与天山边缘存在较大角度的速度变化，人工地震的结果也显示塔里木和准噶尔块体同时向天山造山带俯冲，双向挤压可能是天山造山带新生代以来再次隆升的机制。

摘要： 本次采样工作选取区内续迈、吉达果、嘎日桥、宁中、月腊、董翁、谷露、脱玛、罗玛、玉寨和果组11个地热田，通过分析地下热水中碳硫稳定同位素特征，来研究地下热水中碳和硫的来源，完善区内地热流体的成因。地下热水中碳硫同位素特征的研究，揭示区内地下热水碳源和硫源主要来源于沉积层的淋滤作用，随着冷水混入大气成因来源不断增加，多数介于二者的过渡类型，部分有深部幔源物质的来源。

摘要： 大陆或大洋的有效弹性厚度(Te)波谱反演研究中通常使用自由空间重力异常或布格重力异常与地形的对应关系,即导纳或相干性.尤其近年来许多学者越来越偏向使用布格重力异常通过计算布格导纳或布格相干性,从而反演Te值.由于与深部几十千米的地壳及岩石圈相比,大洋中沉积层的影响相对较小,因而很少有人关注大洋沉积盆地中沉积层对Te反演时的影响.通过对大洋中包含巨厚沉积盆地的区域研究发现,在有些沉积层较厚的区域利用小波反演得到的Te值偏高.而利用沉积校正后的重力异常在相同反演方法和参数下得到的Te的空间分布发生较大变化,如原来偏高的值变小或偏移.因而笔者认为大洋盆地中沉积层的重力作用对Te的研究具有重要的影响,利用沉积校正后的布格重力异常数据来反演Te可能更为适合.

摘要： 地表浅层或海底沉积层中横波特性的认识是土木工程中土壤力学机制、地质灾害评估中海底稳定性和地球物理学中浅地层声层析的重要研究内容.随着表面波反演方法在土木工程中估计横波速度剖面的广泛应用以及大量的海底地震数据的获得,如今表面波方法正在逐渐成为海底沉积层勘探的有效方法.本文参考相关文献,通过与土木工程中的表面波方法进行比较,分析了在海底勘探中表面波方法的特点,指出该方法不仅可以为海底地声模型提供横波信息进而改进或完善沉积物声学模型,而且可以利用地震数据中的表面波得到更多信息从而开发新的无损探测方法,并对未来发展方向给出了展望.

摘要： 纳米流体的流动和传热特性是近年广为关注的研究热点,近壁区纳米颗粒行为对流体流动与传热影响的内在规律为进一步的理论研究奠定基础.本文制备了稳定的纳米颗粒悬浮液体系,实验观测了低热流密度条件下加热面近壁区附近静止汽泡底部周围的纳米颗粒行为以及流体界面特性的改变对纳米流体临界热流密度的影响,观测到纳米颗粒团聚体在近壁区的回旋和絮状沉积行为,通过扫描电镜照片表征了纳米颗粒沉积层的微观形貌.纳米颗粒的沉积可提高加热表面的热毛细作用,但同时也延缓了小汽泡从加热表面脱离.当正丁醇作为表面活性剂添加时,可促进纳米颗粒的沉积并进一步提高纳米流体临界热流密度.分析表明,加热面近壁区形貌特征尺度的降低可显著提高纳米流体临界热流密度等传热性能.本研究可为进一步的实验与理论研究提供参考.

摘要： 本发明涉及一种气体喷注装置、原子层沉积装置以及使用该装置的原子层沉积方法。所述气体喷注装置被配置成单管形状。气体通过所述气体喷注装置的中心部分被供应到衬底上。同时，通过在沿着供气管的外表面的特定部分中所形成的进气孔所供应的气体被吸入。因此，当所述气体喷注装置被设置在靠近所述衬底处时，气体的供应和吸入可以同时进行。此处，由于沉积工艺是在常压下进行，所以不需要提供额外的装置及设置额外的时间来建立真空。并且，因为能够实施连续的工艺，所以工艺前步骤或工艺后步骤可以同时一起进行。此外，可以提供多个来源气喷注装置来形成多组分化合物。在这种情况下，可以针对每一种来源气分解温度来单独地调整热源的种类和所供应的热量。

摘要： 根据本公开内容的一方面，提供一种溅射沉积源(100、200)。溅射沉积源包括：电极阵列(110)，具有两对或更多对电极，其中电极阵列的每个电极(112)围绕各自旋转轴(A)可旋转且配置为提供待沉积于基板(10)上的靶材材料；和电源供应器布置(120)，配置为分别将双极脉冲直流电压提供至所述两对或更多对电极。根据本公开内容的另一方面，提供一种利用溅射沉积源(100、200)将层沉积于基板上的方法。

摘要： 在ALD装置(1)的腔室(2)中，位于面对成膜表面(10a)的位置处的喷头(4)设置有在沿着成膜表面的两个方向(也称为“两个成膜表面方向”)上以预定间隔交替布置以便面对成膜表面(10a)的原料气体喷射口(41)和OH*形成气体喷射口(42)。OH*形成气体喷射口(42)中的每个设置有通过其喷射臭氧气体的第一喷射口(42a)和通过其喷射不饱和烃气体的第二喷射口(42b)。通过从原料气体喷射口(41)中的每个喷射原料气体以及从OH*形成气体喷射口(42)中的每个的第一喷射口和第二喷射口(42a、42b)分别喷射臭氧气体和不饱和烃气体，同时使成膜物体(10)沿着成膜表面(10a)在两个成膜表面方向上移动，在成膜表面(10a)上形成氧化膜(11)。

摘要： 本发明提供一种进气装置及原子层沉积设备，其包括：用于向第一进气结构输送第一补偿气体的第一补偿进气结构，以能够使经由第一进气结构进入反应腔室的气体流量值等于经由第二进气结构进入反应腔室的气体流量值；以及用于向反应腔室内输送第二补偿气体的第二补偿进气结构，以能够在第一进气结构和第二进气结构停止向反应腔室输送第一前驱体和第二前驱体时，使进入反应腔室的气体流量值等于经由第一进气结构或第二进气结构进入反应腔室的气体流量值。本发明提出的进气装置及原子层沉积设备能够使前驱体和补偿气体充分混合，且不会造成反应腔室内部压力波动，以使反应腔室中的用于制备膜层的工艺气体具有良好的均匀性，从而使膜层具有良好的均匀性。

摘要： 本发明涉及一种气体喷注装置、原子层沉积装置以及使用该装置的原子层沉积方法。所述气体喷注装置被配置成单管形状。气体通过所述气体喷注装置的中心部分被供应到衬底上。同时，通过在沿着供气管的外表面的特定部分中所形成的进气孔所供应的气体被吸入。因此，当所述气体喷注装置被设置在靠近所述衬底处时，气体的供应和吸入可以同时进行。此处，由于沉积工艺是在常压下进行，所以不需要提供额外的装置及设置额外的时间来建立真空。并且，因为能够实施连续的工艺，所以工艺前步骤或工艺后步骤可以同时一起进行。此外，可以提供多个来源气喷注装置来形成多组分化合物。在这种情况下，可以针对每一种来源气分解温度来单独地调整热源的种类和所供应的热量。

摘要： 在ALD装置(1)的腔室(2)中，位于面对成膜表面(10a)的位置处的喷头(4)设置有在沿着成膜表面的两个方向(也称为“两个成膜表面方向”)上以预定间隔交替布置以便面对成膜表面(10a)的原料气体喷射口(41)和OH*形成气体喷射口(42)。OH*形成气体喷射口(42)中的每个设置有通过其喷射臭氧气体的第一喷射口(42a)和通过其喷射不饱和烃气体的第二喷射口(42b)。通过从原料气体喷射口(41)中的每个喷射原料气体以及从OH*形成气体喷射口(42)中的每个的第一喷射口和第二喷射口(42a、42b)分别喷射臭氧气体和不饱和烃气体，同时使成膜物体(10)沿着成膜表面(10a)在两个成膜表面方向上移动，在成膜表面(10a)上形成氧化膜(11)。

摘要： 本申请属于半导体制造技术领域，具体涉及一种原子层沉积装置及原子层沉积方法。本申请的原子层沉积装置包括反应室、晶片承载器和多个喷嘴，晶片承载器设于反应室的内部，用于在同一平面内承载多个晶片，多个喷嘴设于晶片承载器的上方的反应室的侧壁或顶壁，用于向反应室内通入第一前驱体、第二前驱体和净化气体。根据本申请的原子层沉积装置，能够同时在多个晶片表面形成原子层，提高晶片生产效率，同时保证原子层的沉积厚度和范围的均匀性，提高晶片质量。

摘要： 本发明涉及一种原子层沉积设备及原子层沉积喷淋装置。一种原子层沉积喷淋装置，包括若干个第一导气柱阵列，每个第一导气柱阵列包括若干个第一导气柱；若干个第二导气柱阵列，每个第二导气柱阵列包括若干个第二导气柱；第一导气柱阵列和第二导气柱阵列间隔交替排布；冷却组件，包括若干个第一冷却带和若干个第二冷却带；第一冷却带与第一导气柱阵列一一热接触对应；第二冷却带与第二导气柱阵列一一热接触对应；以及隔热组件，包括若干个隔热带；相邻的第一导气柱阵列和第二导气柱阵列之间均设有隔热带。上述原子层沉积喷淋装置，既能避免化学反应前驱体在原子层沉积喷淋装置内发生热分解，又能避免化学反应前驱体在原子层沉积喷淋装置内发生冷凝。

摘要： 本发明涉及一种原子层沉积设备及原子层沉积薄膜的制备方法。本发明提供的原子层沉积设备包括：反应室，其具有反应腔，所述反应腔中设置有第一基片承载台和电极板，所述第一基片承载台用于承载基片，所述电极板位于所述第一基片承载台的上方；电源系统，其第一电极与所述第一基片承载台电连接，第二电极与所述电极板电连接，所述电源系统用于在所述第一基片承载台和所述电极板之间形成电场，以诱导用于在所述基片上沉积出的薄膜的生长取向。

摘要： 本发明提供一种进气装置及原子层沉积设备，其包括：用于向第一进气结构输送第一补偿气体的第一补偿进气结构，以能够使经由第一进气结构进入反应腔室的气体流量值等于经由第二进气结构进入反应腔室的气体流量值；以及用于向反应腔室内输送第二补偿气体的第二补偿进气结构，以能够在第一进气结构和第二进气结构停止向反应腔室输送第一前驱体和第二前驱体时，使进入反应腔室的气体流量值等于经由第一进气结构或第二进气结构进入反应腔室的气体流量值。本发明提出的进气装置及原子层沉积设备能够使前驱体和补偿气体充分混合，且不会造成反应腔室内部压力波动，以使反应腔室中的用于制备膜层的工艺气体具有良好的均匀性，从而使膜层具有良好的均匀性。