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公开/公告号CN114286875A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社明电舍;
申请/专利号CN202080060774.7
发明设计人 龟田直人;三浦敏德;花仓满;
申请日2020-04-22
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/40(20060101);H01L21/31(20060101);H01L21/316(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人王庆华
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 14:45:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
公开
国际专利申请公布
机译: 原子原子电子拆分ικο和静电喷雾器委派注入除以机国际燃烧。
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