一种支撑结构的MEMS压电谐振器

摘要

本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域，提供一种新型支撑结构的MEMS压电谐振器，用以克服现有MEMS谐振器的Q值低的缺陷；本发明MEMS压电谐振器结构中增加圆形外框和内支撑梁，采用硅振动块‑内支撑梁‑圆形外框‑外支撑梁‑基底的连接方式，且将圆形外框与外支撑梁的连接位置选取在机械波在圆形外框中传播时的驻波节点处，从而使内支撑梁传导出的两股机械波在节点处反相而相互抵消，显著减小从谐振体到基底通过支撑梁传导造成的能量耗散，降低锚点损耗，从而提升谐振器的品质因数Q。