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山之内和彦; 大场正规; 郭秀芬;
日.东北大学电气通研究所;
谐振器; 支撑结构; 空隙型; 压电薄膜;
机译:使用复合压电谐振器识别薄膜消费者结构中结构的阶段
机译:复合压电谐振器方法识别薄膜前体中的结构形成阶段
机译:侧面支撑的径向模式薄膜压电on-Silicon盘谐振器
机译:气隙型压电复合薄膜谐振器
机译:通过对基板和系链进行修改,微机械加工的薄膜硅上压电薄膜横向延伸谐振器的性能得到提高。
机译:Q-系数提高薄膜压电对硅MEMS谐振器通过呼吸晶体反射器复合结构
机译:压电薄膜传感器在金属和复合结构中的损伤监测
机译:过滤器和压电薄膜复合谐振器采用悬臂支撑结构类型的弹性振动
机译:压电谐振器支撑结构和包括该压电谐振器支撑结构的压电部件
机译:膜厚设定高频电磁场耦合型薄膜层压电极,高频传输线,高频谐振器,频率滤波器,高频电磁场耦合型薄膜层压电极和高频装置
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