微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统

摘要

一种微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统，该方法在图形化敏感薄膜以形成释放开口的同时，在敏感薄膜内形成沟槽，部分沟槽与部分空腔交叠，在敏感薄膜上形成用于密封释放开口的覆盖层之后，填充在沟槽内的覆盖层内部会形成由空洞构成的第一通道，其上方设置有一个与其连通的第二通道，由此空腔可通过第一及第二通道与压力传感器的外部环境连通。这样，当将形成有第二通道的压力传感器置于气压为1个标准大气压、温度为常温的环境中之后即可使得空腔内的气压也为1个标准大气压，将第二通道密封之后可使得在常温条件下空腔内的气压固定在1个标准大气压，进而能够使压力传感器在测量大气压强时具有较佳的线性度及较大的测量范围。