Ion beams; Fabrication; Tools; Machining; Tungsten carbide;
机译:基于带有集成镜面的两个正交硅射束的微机电系统谐振器的设计与制造,用于监测面内磁场
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机译:用于微机电系统的独立式Al梁的强度和伸长率的研究
机译:具有多晶硅和Ti / Pt电极层的溅射沉积的PZT薄膜柔性集成的问题,用作微机电系统(MEMS)中的传感器和致动器
机译:用于微机电系统的薄膜镍钛形状记忆合金的溅射沉积和表征。
机译:3D碳微机电系统(C-MEMS)的制造
机译:基于两个正交硅束的微机电系统谐振器的设计与制造用于监测在线磁场的集成镜