基于微机电系统的热量计及有关制造和应用

摘要

本发明提供了基于微机电系统的热量计，它包括两个支撑在薄膜基片内的微室。所述薄膜基片包括一个被构设为测量两个微室之间温差的热电传感器，还包括一个具有热稳定性且高强度的聚合物膜片。此外，提供了基于MEMS的热量计的制造方法，以及利用热量计测量生物分子等材料的热性能或化学反应/物理相互作用中热力学特性的方法。