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李敬锋;
清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084;
MEMS; 微制造; 微型器件; 压电; 热电; 碳化硅;
机译:AIST纳米管应用研究中心开发了可大规模生产rnmems器件的晶圆制造及其微制造技术
机译:纳米结构薄膜沉积技术与基于MEMS的微制造技术的集成:在微型气体传感器中的应用
机译:MEMS制造技术和使用技术:微型光学零件和机械装置的超精密/微制造技术
机译:使用微制造技术的基于MEMS的微型直接甲醇燃料电池
机译:微电子和微机电系统的逐层纳米组装与微制造技术相结合。
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:J.微/纳米石。 mEms mOEms8�3�,031303�Jul-sep2009�微机电系统器件的辐射灵敏度
机译:用于极端温度环境的可注射陶瓷微型碳氮化硅(siCN)微机电系统(mEms),具有扩展功能:用于纳米器件的微型封装
机译:MEMS扫描微镜和双轴电磁MEMS扫描微镜器件
机译:使用表面制造技术构造隔离微机电系统(MEMS)器件的方法
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