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III族氮化物半导体激光二极管及III族氮化物半导体激光二极管的制作方法

摘要

本发明提供一种III族氮化物半导体激光二极管,其具有能够提供较高的光限制及载流子限制的覆层。在(20-21)面GaN衬底(71)上,以产生晶格弛豫的方式生长n型Al

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-12

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 5/343 授权公告日:20130918 终止日期:20160226 申请日:20100226

    专利权的终止

  • 2013-09-18

    授权

    授权

  • 2012-05-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/343 申请日:20100226

    实质审查的生效

  • 2012-04-18

    公开

    公开

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