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公开/公告号CN108682625A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 西安电子科技大学;
申请/专利号CN201810494815.8
发明设计人 郑雪峰;白丹丹;王士辉;吉鹏;李纲;董帅;马晓华;郝跃;
申请日2018-05-22
分类号
代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王海栋
地址 710071 陕西省西安市太白南路2号
入库时间 2023-06-19 06:54:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/285 申请日:20180522
实质审查的生效
2018-10-19
公开
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