公开/公告号CN101970400A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中央硝子株式会社;
申请/专利号CN200980108659.6
申请日2009-03-10
分类号C07C317/18(20060101);C07C381/12(20060101);C08F20/26(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/039(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇;李茂家
地址 日本山口县
入库时间 2023-12-18 01:52:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-22
授权
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C317/18 申请日:20090310
实质审查的生效
2011-02-09
公开
公开
机译: 具有氟碳负离子结构的新型盐,其衍生物,光酸产生剂,使用光酸产生剂的抗蚀剂材料以及图案形成方法
机译: 具有含氟碳负离子结构的盐,其衍生物,光酸产生剂,使用该光酸产生剂的抗蚀剂材料以及图案形成方法
机译: 含氟碳酸盐结构的新型盐,其衍生物,光酸发生剂,使用光酸发生剂的抗蚀剂材料和图案形成方法