含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂

摘要

本文对含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂进行了研究。4,4 ，-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感，在365nm光照时分解产酸。尽管产生的酸与染料的胺基发生作用，依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解，但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间。基于此，将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和敏化剂组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料，在曝光量为100mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形。