法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/46 申请日:20170517
实质审查的生效
2019-01-04
公开
公开
机译: 薄膜制造方法,薄膜制造装置,用于光电转换元件的制造方法,用于逻辑电路的制造方法,用于发光元件的制造方法以及用于光控元件的制造方法
机译: 薄膜制造方法,薄膜制造装置,光电转换元件制造方法,逻辑电路制造方法,发光元件制造方法和光控制元件制造方法
机译: 薄膜制造方法,光电转换元件制造方法,逻辑电路制造方法,发光元件制造方法和光控制元件制造方法