机译:薄膜制造方法,薄膜制造装置,用于光电转换元件的制造方法,用于逻辑电路的制造方法,用于发光元件的制造方法以及用于光控元件的制造方法
公开/公告号US2019252182A1
专利类型
公开/公告日2019-08-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SONY CORPORATION;
申请/专利号US201716303689
申请日2017-05-17
分类号H01L21/02;C01B21/064;C01G39/06;C23C16/46;C23C16/52;C23C16/54;H01L31/18;H01L33;H01L33/42;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:10:18