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诸政; 吕世涛; 张敖宇; 孙海燕; 赵继聪;
南通大学信息科学技术学院;
微机电系统; 压电谐振器; 制备工艺; 锚点损耗; 品质因数;
机译:用于医疗保健和环境应用的支撑几何形状对压电环形谐振器的频移和支撑损耗的影响的分析研究
机译:高Q多频环形压电MEMS谐振器
机译:利用LAMB波的压电MEMS盘形和环形谐振器
机译:适用于UHF应用的低运动阻力环形轮廓模式氮化铝压电微机械谐振器
机译:用于射频信号处理的压电氮化铝MEMS谐振器。
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:压电氮化铝振动轮廓模式MEMS谐振器
机译:mEms压电谐振器的频率合成
机译:压电谐振器支撑结构和包括该压电谐振器支撑结构的压电部件
机译:压电谐振器支撑结构和包括该压电谐振器的压电部件
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