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目录
第一章 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外研究历史与现状
1.3 本文主要研究内容
第二章 氮化铝兰姆波谐振器设计与制造
2.1 压电谐振器的工作原理与兰姆波特性
2.2 谐振器性能参数
2.3 兰姆波谐振器的特性
2.4 兰姆波谐振器制造工艺
2.5 本章小结
第三章 基于高性能兰姆波谐振器的梯形滤波器设计与制造
3.1 梯形滤波器简介
3.2 梯形滤波器设计准则
3.3 高性能梯形滤波器制造与测试
3.4 本章小结
第四章 终端为50欧姆的兰姆波滤波器设计与制造
4.1 通过电容电感网络转换滤波器的终端阻抗
4.2 集成电容的兰姆波滤波器
4.3 本章小结
第五章 基于氮化铝兰姆波谐振器的传感器设计与制造
5.1 声波传感器中的重要参数
5.2 MEMS压电声波传感器简介
5.3 兰姆波传感器与FBAR传感器在液体环境下的特性
5.4 声波传感器与微流道集成技术
5.5 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 应用前景
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
附录
致谢