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机译:利用LAMB波的压电MEMS盘形和环形谐振器
Microelectronic Research Lab. Electrical Engineering Department Sahand University of Technology Tabriz Iran;
Microelectronic Research Lab. Electrical Engineering Department Sahand University of Technology Tabriz Iran;
Microelectronic Research Lab. Electrical Engineering Department Sahand University of Technology Tabriz Iran;
Microelectromechanical Systems (MEMS); piezoelectric; AlN; resonator; lamb wave mode; acoustic;
机译:利用LAMB波的压电MEMS盘形和环形谐振器
机译:高Q多频环形压电MEMS谐振器
机译:Lamb Wave MEMS谐振器中的横模寄生谐振抑制:理论,建模和实验
机译:声压电环形兰姆波MEMS谐振器
机译:用于定时和频率控制应用的温度补偿和高Q压电铝氮化物振荡器谐振器
机译:宽声带隙固体盘形声子晶体锚固边界用于提高AlN-on-Si MEMS谐振器的品质因数
机译:使用具有共存s0和s1LamB波模式的单个压电aLN mEms谐振器的无开关双频可重构CmOs振荡器
机译:利用最低阶对称模式对氮化铝Lamb波谐振器进行温度补偿。