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LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

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介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中,X光掩模板图形的CAD设计.它包括微齿轮的建模和图形的生成,微齿轮图形的分割及图形的拟合.

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来源
《微细加工技术》|2000年第1期|66-70,65|共6页
作者
陈文元; 张卫平; 周迪; 范志荣;
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作者单位

上海交通大学信息存储研究中心,上海200030;

上海交通大学信息存储研究中心,上海200030;

上海交通大学信息存储研究中心,上海200030;

上海交通大学信息存储研究中心,上海200030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN271+.4;
关键词
LIGA技术; 微齿轮; CAD;

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