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黄军容; 彭良强; 伊福廷; 蒋毅坚; 张菊芳; 韩勇;
中国科学院高能物理研究所;
北京工业大学国家产学研激光技术中心;
3B1光束线; 光刻工艺; LIGA掩模; 设计; 掩模; X射线;
机译:用于LIGA中间掩模制造的40 keV形电子束光刻
机译:利用聚焦电子束诱导沉积的金属氧化物半导体器件的无掩模原型设计
机译:在质子疗法束线上应用快速踢球系统的设计考虑因素
机译:使用电子束检查工具上的掩模版缺陷检查,研究晶圆上掩模版缺陷的可印刷性
机译:用于分子离子研究的超灵敏,高精度快速离子束光谱仪的设计,构造和表征
机译:喉部掩模空气方式与气管内插管对血液动力学反应的影响在塞米西克II医院接受眼科手术的儿科患者血流动力学反应中的血液动力学响应:一项潜在观察研究设计
机译:设计用于分子束外延系统开发的InAs量子点在狭窄区域中选择性生长的原位掩模
机译:通过气体辅助聚焦离子束快速进行高纵横比,高分辨率X射线掩模的原型设计
机译:带电粒子束掩模的设计方法,带电粒子束掩模和带电粒子束传递方法
机译:电子束描绘图案设计光掩模的方法电子束描绘,制造光掩模的方法以及使用该方法制造半导体器件的方法
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