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黄军容; 彭良强; 伊福廷; 蒋毅坚; 张菊芳; 韩勇;
北京大学;
中国电子科技集团公司;
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机译:反射电子束光刻:使用反射电子束光刻概念的无掩模电子束直接写入光刻方法
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