用离子束辅助蒸发工艺镀制高性能硫化锌红外增透膜

摘要

介绍了用离子束辅助蒸发工艺在高折射率锗（Ge）基片上镇制的高性能硫化锌（ZnS）红外增透膜（也称红外减反射膜）及其工艺的研制，通过与常规热蒸发工艺镀制的硫化锌增透膜的性能相比较，证实了离子束辅助蒸发技术对提高硫化锌红外增透膜的光学特性、膜层品质及改变薄膜的结构和应力状态有良好的效果。试验表明用该技术镀制高性能硫化锌红外增透膜能满足长寿命、高可靠卫星红外地球敏感器的使用要求。