离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜

摘要

简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。着重介绍了离子束辅助淀积制备该膜系的过程，给出了用该方法制作8～12μm波段的减反膜的测试曲线，它具有峰值透过率高，在设计波长范围内的平均透过率大于97℅以上，膜层附着好，可以切割和擦洗，可以在室温和100K低温下反复循环使用。