用离子束辅助蒸发技术镀制高性能硫化锌红外增透膜

摘要

本文简要地介绍了用离子束辅助蒸发技术在高折射率锗(Ge)基片上镀制高性能硫化锌(ZnS)红外增透膜(也称红外减反射膜)及其工艺的研究,通过与常规热蒸发技术镀制硫化锌增透膜的性能比较,证实了离子束辅助蒸发技术对提高硫化锌红外增透膜的光学特性、膜层质量及改变薄膜的结构、应力状态有良好的效果,试验表明用该技术镀制高性能硫化锌红外增透膜能满足长寿命、高可靠卫星的使用要求。