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杨仕娥; 崔宗超; 郭巧能; 陈永生; 李艳阳; 卢景霄;
郑州大学材料物理教育部重点实验室;
济源职业技术学院电气工程系;
微晶硅; 等离子体; 数值模拟; 光发射谱;
机译:VHF-PECVD中氢,离子分布和甲硅烷基表面扩散长度对高压大功率硅薄膜生长的影响
机译:VHF-PECVD法沉积的衬底温度对微晶硅膜生长特性的影响
机译:薄膜太阳能电池本征氢化非晶硅的沉积-通过RF-PECVD静态生长和通过VHF-PECVD动态生长的层的比较研究
机译:射频和VHF-PECVD技术研究氢在氢化微晶硅中的作用及其生长过程
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:微孪晶和纳米孪晶解释了硅纳米线和硅薄膜中的奇数电子衍射图
机译:低温辉光放电硅薄膜中N-和p-型微晶的形核和生长
机译:微晶硅生长过程中的动态温度控制方法
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