CEA, LETI, MINATEC, F38054 Grenoble, France;
机译:通过基座辅助微波退火对低能硼注入和磷注入硅进行有效的掺杂活化
机译:通过基座辅助微波退火对低能硼注入和磷注入硅进行有效的掺杂活化
机译:散装锗和绝缘体上锗的预非晶化注入辅助硼活化
机译:硼和磷掺杂剂在锗中使用激光退火,无前瞻性植入物
机译:外延氮化镓中的离子植入损伤,退火和掺杂剂活化
机译:超低能大剂量硼注入Si(110)的化学状态和原子结构演变
机译:多次扫描进行非熔融激光退火后,预非晶硅中超浅硼注入的失活
机译:硼离子注入激光退火硅的热退火效应