机译:纳秒激光退火过程中注入锗的硅晶体缺陷结构的演变
机译:超低能硼注入物在预非晶硅和绝缘体上硅中的向上扩散
机译:热注入后退火过程中重注入低压化学气相沉积硅薄膜中硼扩散的建模
机译:锗预非晶化注入,预退火RTA和后退火非熔融准分子激光(NLA)工艺的结合,在浅p〜+ / n结形成过程中硼的扩散行为
机译:硼注入硅的非熔融激光退火。
机译:后退火处理对原子层沉积制备的AlN / Si结构的界面化学性质和能带排列的影响
机译:从超低能量硼注入中硼增强硼的扩散
机译:从超低能量硼注入中硼增强硼的扩散