用电子束反应蒸镀法制备的ZnO单晶薄膜的结构和光学特性

摘要

本文利用电子束反应蒸镀技术在Si(001)衬底上低温外延生长了ZnO单晶薄膜，X射线衍射(XRD)分析显示ZnO薄膜具有高度c-轴取向,其衍射峰线宽比磁控溅射所得ZnO薄膜的线宽要小，还对高质量ZnO薄膜低温外延生长的机制进行了讨论。