机译:氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
公开/公告号JP2013251411A
专利类型
公开/公告日2013-12-12
原文格式PDF
申请/专利权人 KOCHI UNIV OF TECHNOLOGY;
申请/专利号JP20120125420
申请日2012-05-31
分类号H01L21/363;C30B29/66;C30B29/16;C30B25/20;H01L21/205;C23C16/40;C23C14/08;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:16:40