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CRYSTAL GROWTH METHOD, CRYSTAL GROWTH APPARATUS, GROUP-III NITRIDE CRYSTAL AND GROUP-III NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICE

机译:晶体生长方法,晶体生长装置,III族氮化物晶体和III族氮化物半导体器件

摘要

A crystal growth method, comprising the steps of: a) bringing a nitrogen material into a reaction vessel in which a mixed molten liquid comprising an alkaline metal and a group-III metal; and b) growing a crystal of a group-III nitride using the mixed molten liquid and the nitrogen material brought in by the step a) in the reaction vessel, wherein a provision is made such as to prevent a vapor of the alkaline metal from dispersing out of the reaction vessel.
机译:一种晶体生长方法,包括以下步骤:a)将氮材料引入反应容器中,该反应容器中包含碱金属和III族金属的混合熔融液体;并且b)使用步骤a)中引入的混合熔融液和氮材料在反应容器中生长III族氮化物晶体,其中提供了防止碱金属蒸气扩散的措施。从反应容器中出来。

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