公开/公告号US2020066607A1
专利类型
公开/公告日2020-02-27
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201916503270
发明设计人 SESHASAYEE VARADARAJAN;AARON R. FELLIS;ANDREW JOHN MCKERROW;JAMES SAMUEL SIMS;RAMESH CHANDRASEKHARAN;JON HENRI;
申请日2019-07-03
分类号H01L21/66;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/505;C23C16/54;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/02;C23C16/50;C23C16/52;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:20:38