公开/公告号CN107699869B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-16
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201710673939.8
申请日2017-08-09
分类号C23C16/52(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人李献忠;张静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:01:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-16
授权
授权
2018-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/52 申请日:20170809
实质审查的生效
2018-02-16
公开
公开
机译: 通过在整个沉积过程中改变晶片温度来抑制界面反应
机译: 通过在整个沉积中改变晶片温度来抑制界面反应
机译: 通过改变晶片的温度来抑制界面反应