法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/50 授权公告日:20110720 终止日期:20140331 申请日:20100331
专利权的终止
2011-07-20
授权
授权
2010-10-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/50 申请日:20100331
实质审查的生效
2010-08-25
公开
公开
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