公开/公告号CN101483147B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN200910002034.3
申请日2009-01-08
分类号H01L21/687(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张波
地址 美国纽约阿芒克
入库时间 2022-08-23 09:06:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/687 登记生效日:20171201 变更前: 变更后: 申请日:20090108
专利申请权、专利权的转移
2017-12-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/687 登记生效日:20171201 变更前: 变更后: 申请日:20090108
专利申请权、专利权的转移
2011-04-06
授权
授权
2011-04-06
授权
授权
2009-09-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-15
公开
公开
2009-07-15
公开
公开
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