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公开/公告号CN108428627B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学技术大学;
申请/专利号CN201810265693.5
发明设计人 曹刚;陈明博;王保传;李海欧;郭光灿;郭国平;
申请日2018-03-28
分类号H01L21/18(20060101);H01L29/205(20060101);
代理机构11260 北京凯特来知识产权代理有限公司;
代理人郑立明;郑哲
地址 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
入库时间 2022-08-23 11:34:39
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